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    龍門實(shí)驗(yàn)室:讓創(chuàng)新鏈與產(chǎn)業(yè)鏈“無縫對接”|十大戰(zhàn)略進(jìn)行時

    時間:2023-04-17

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    省實(shí)驗(yàn)室是全省科技創(chuàng)新體系的重要組成部分,是國家實(shí)驗(yàn)室的預(yù)備隊(duì)和河南省各類創(chuàng)新基地的先鋒隊(duì)。龍門實(shí)驗(yàn)室成立一年來,建立“企業(yè)出題+實(shí)驗(yàn)室答題”的創(chuàng)新模式,力推創(chuàng)新鏈與產(chǎn)業(yè)鏈“無縫對接”。效果如何呢?

    洛陽中硅高科有限公司研發(fā)中心研發(fā)主管 先進(jìn)集成電路晶圓用多晶硅材料課題負(fù)責(zé)人 陳輝:硅的純度我們要達(dá)到11個“9”,如果有金屬雜質(zhì)的話,它對下游的燒制壽命、拉晶、晶體應(yīng)用的話會有一定的影響...

    11個“9”是什么?是電子級多晶硅的純度;下游在哪兒?在單晶硅生產(chǎn)企業(yè);單晶硅的下游應(yīng)用就是芯片了。作為芯片制造的關(guān)鍵原材料,電子級多晶硅也是龍門實(shí)驗(yàn)室聯(lián)合上下游企業(yè)闖關(guān)的重點(diǎn)。

    龍門實(shí)驗(yàn)室智能裝備先進(jìn)材料科創(chuàng)中心主任 潘昆明:電子級多晶硅,它的純度達(dá)到99.999999999%,就11個9,它這個難度、這個純度要求是非常非常高的。在這個項(xiàng)目之初,像電子級多晶硅原材料主要是從美國、德國、日本、主要是進(jìn)口,這樣的話我們就受制于人。

    作為生產(chǎn)多晶硅的龍頭企業(yè),中硅高科從2015年至今都在進(jìn)行科研攻關(guān),走了7年的彎路,一直卡在多晶硅原材料氫氣和三氯氫硅的提純上,產(chǎn)品質(zhì)量也不穩(wěn)定。

    洛陽中硅高科有限公司研發(fā)中心研發(fā)主管 先進(jìn)集成電路晶圓用多晶硅材料課題負(fù)責(zé)人 陳輝:對于半導(dǎo)體來說的話,我們大概有110多道工序做成芯片,它這個驗(yàn)證周期也比較長,至少在一年到一年半的時間。這樣整體上包括一個浪費(fèi)和一個質(zhì)量的不可控,所以說我們一定要在原材料這邊要絕對的穩(wěn)定,在前端是非常非常關(guān)鍵的。

    去年三月,龍門實(shí)驗(yàn)室的誕生給企業(yè)帶來了希望。龍門實(shí)驗(yàn)室成立了五大科創(chuàng)中心,集中從中硅高科、中信重工等重點(diǎn)企業(yè),搜集挖掘了產(chǎn)業(yè)“卡脖子”需求80項(xiàng)、關(guān)鍵技術(shù)“堵點(diǎn)”780個,按照“成熟一項(xiàng),啟動一項(xiàng)”的原則,僅僅一個月就開啟了“先進(jìn)硅基光電功能材料”等重大項(xiàng)目課題。

    龍門實(shí)驗(yàn)室“先進(jìn)硅基光電功能材料”項(xiàng)目聯(lián)絡(luò)員 任永鵬:我是這個課題的聯(lián)絡(luò)員,我作為一個紐帶,我既有中硅高科的出入證,我也是龍門實(shí)驗(yàn)室的人員。然后我們模擬它的熱力學(xué)和反應(yīng)動力學(xué),在計(jì)算機(jī)中可以很低成本、很快速度地去模擬這個實(shí)驗(yàn),然后就不需要反反復(fù)復(fù)花大量成本、人力物力去做這個實(shí)驗(yàn),直接就推進(jìn)我們這個實(shí)驗(yàn)的進(jìn)度。

    洛陽中硅高科先進(jìn)集成電路晶圓用多晶硅材料課題負(fù)責(zé)人 陳輝:我們在實(shí)際操作上面可能是更熟悉一些,但是對理論知識、基礎(chǔ)知識的一些研究和研發(fā)的話還不足,所以說剛好的話彌補(bǔ)我們的短板。

    人才共用、優(yōu)勢互補(bǔ),龍門實(shí)驗(yàn)室36人的博士團(tuán)隊(duì)對多晶硅原材料純化等進(jìn)行了一次又一次的模擬實(shí)驗(yàn),終于,去年10月,原料提純難題被攻克。目前,正在為年產(chǎn)300噸電子級多晶硅產(chǎn)業(yè)化示范線投產(chǎn)做準(zhǔn)備。

    洛陽中硅高科有限公司研發(fā)中心高級研發(fā)工程師 袁振軍:我們生產(chǎn)電子級多晶硅的成本直接降低了30%,現(xiàn)在我們這個產(chǎn)品,其中的關(guān)鍵指標(biāo)達(dá)到了一個國際領(lǐng)先的水平,實(shí)現(xiàn)了國產(chǎn)替代。

    解決了上游多晶硅的問題,龍門實(shí)驗(yàn)室繼續(xù)往下游單晶硅攻關(guān)。之前,麥斯克公司一直被超低阻重?fù)缴楹土椎墓杵邪l(fā)卡著脖子,這種單晶硅片廣泛應(yīng)用于集成電路和高端功率器件中,市場需求量很大,但要求也高。

    麥斯克電子材料股份有限公司副總經(jīng)理 胡曉亮:摻雜難度是非常大的,摻入的雜質(zhì)元素一多,就長不成單晶這種情況。

    記者:等于龍門實(shí)驗(yàn)室加進(jìn)來一下子就解決了?

    麥斯克電子材料股份有限公司副總經(jīng)理 胡曉亮:對對對對,一下子豁然開朗,我們有實(shí)戰(zhàn)經(jīng)驗(yàn),而他們在熱場和優(yōu)化上,通過它的模擬仿真軟件計(jì)算,所以雙方配合確實(shí)取得了一個很大的進(jìn)展。

    記者:那帶來的經(jīng)濟(jì)效益呢?

    麥斯克電子材料股份有限公司副總經(jīng)理 胡曉亮:我們已經(jīng)有產(chǎn)出了,非常不愁銷路,(假如)常規(guī)的產(chǎn)品一片賣100塊,它呢在150塊以上,國內(nèi)還沒有批量供應(yīng)市場的企業(yè)。

    記者:我們算第一家。

    麥斯克電子材料股份有限公司副總經(jīng)理 胡曉亮:我們是第一家,對。

    借助“企業(yè)出題+實(shí)驗(yàn)室答題”的創(chuàng)新模式,龍門實(shí)驗(yàn)室不斷取得新成果: “油莎豆高效聯(lián)合收獲機(jī)”和“果園智能除草機(jī)器人”已經(jīng)通過國家農(nóng)機(jī)具質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心專家的現(xiàn)場試驗(yàn)測試,即將量產(chǎn);“無人植物工廠成套智能作業(yè)機(jī)器人及管控系統(tǒng)”、“新能源客車高效動力系統(tǒng)關(guān)鍵技術(shù)及應(yīng)用”等項(xiàng)目正按節(jié)點(diǎn)穩(wěn)步推進(jìn)。

    龍門實(shí)驗(yàn)室副主任 馬明星:我們項(xiàng)目的立項(xiàng)和遴選機(jī)制,一定要是企業(yè)出題,然后摸清楚產(chǎn)業(yè)的需求,雙方共同來確定到底我們的風(fēng)口產(chǎn)業(yè)項(xiàng)目的整個的研發(fā)方向是什么,保證我們不會為了研究而研究,真正地把整個的科技創(chuàng)新落實(shí)到產(chǎn)業(yè)上,能在它的延鏈補(bǔ)鏈或者整個產(chǎn)業(yè)鏈高端化這一塊能做出來一些實(shí)實(shí)在在的貢獻(xiàn)。

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